Ozono dujų tiekimo sistema gali generuoti ypač grynas ir patikimas ozono dujas. Švarioje puslaidininkių gamybos aplinkoje plonųjų sluoksnių nusodinimo procesai, tokie kaip atominio sluoksnio nusodinimas (ALD) ir atominio sluoksnio ėsdinimas (ALE), vykdomi ozono dujų reakcijos būdu. Didelio grynumo ir didelės koncentracijos ozono dujos leidžia suformuoti didesnio tankio sluoksnius, taip padidinant gaminių išeigą, našumą ir patikimumą.